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中村 篤志 and 清水 克美 and 青木 徹 and 田中 昭 and 天明 二郎,酸素リモートプラズマを用いたZnOのMOCVD成長(発光型・非発光型ディスプレイ合同研究会),映像情報メディア学会技術報告,09135685,一般社団法人 映像情報メディア学会,2003,27.4,0,65-68,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204527888512,https://doi.org/10.11485/itetr.27.4.0_65