著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 井口 昌司,機械式真空ポンプ 極高真空対応ターボ分子ポンプについて,ターボ機械,0385-8839,一般社団法人 ターボ機械協会,1995,23,11,651-656,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204545548928,https://doi.org/10.11458/tsj1973.23.651