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蜂谷 憲一郎 and 江部 健太郎 and 加藤 昭二 and 向川 政治 and 高木 浩一 and 藤原 民也,高周波放電プラズマにおける基板への熱流束と電力測定,電気学会論文誌． Ａ,03854205,一般社団法人 電気学会,2005,125,3,223-228,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204594659712,https://doi.org/10.1541/ieejfms.125.223