著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
斧 高一,ULSIデバイス作製プロセスにおけるプラズマ-固体表面相互作用,応用物理,0369-8009,公益社団法人 応用物理学会,1999,68,5,513-519,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204596588032,https://doi.org/10.11470/oubutsu1932.68.513