著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
市川 幸美,プラズマCVDによるa-SiGe:H薄膜堆積に関する巨視的解析,電気学会論文誌． Ａ,03854205,一般社団法人 電気学会,2001,121,1,52-58,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204598935296,https://doi.org/10.1541/ieejfms1990.121.1_52