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中野 真生 and 渡邊 英典 and 北栃 直樹 and 熊崎 貴仁 and 西坂 敏博 and 有我 達也 and 納富 良一,マイクロリソグラフィ用超狭帯域化F<SUB>2</SUB>レーザシステムの実用化研究,電気学会論文誌． Ａ,03854205,一般社団法人 電気学会,2002,122,2,205-210,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204600075520,https://doi.org/10.1541/ieejfms.122.205