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滝川 浩史 and 笹岡 毅志 and 榊原 建樹,反応性真空アーク蒸着法によるアナターゼ型TiO<sub>2</sub>膜の生成,電気学会論文誌． Ａ,03854205,一般社団法人 電気学会,1997,117,8,866-872,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204600384384,https://doi.org/10.1541/ieejfms1990.117.8_866