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蛭川 能成 and 小野 茂,Ar-O<sub>2</sub>混合ガス表面波プラズマによるポリイミドの親水化処理における酸素ラジカルの効果,電気学会論文誌． Ａ,03854205,一般社団法人 電気学会,2014,134,2,91-97,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204600547840,https://doi.org/10.1541/ieejfms.134.91