著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
島岡 敬一 and 田畑 修 and 木村 雅人 and 杉山 進,サーフェスマイクロマシーニング技術を用いたマイクロ圧力センサ,電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌）,03854221,一般社団法人 電気学会,1992,112,12,736-742,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204607833984,https://doi.org/10.1541/ieejeiss1987.112.12_736