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Takahashi Akihiko and Torii Shuichi and Makimura Tetsuya and Murakami Kouichi and Okazaki Kota and Nakamura Daisuke and Okada Tatsuo and Niino Hiroyuki,Micromachining of Silica Glass Using EUV Radiation of Laser-Produced Plasma,電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌）,03854221,一般社団法人 電気学会,2010,130,10,1779-1783,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204608452224,https://doi.org/10.1541/ieejeiss.130.1779