著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
KONO Akihiro and HIROSE Satoshi and GOTO Toshio,Laser-Induced-Fluorescence Study of SiH2 in a RF SiH4/SiH2Cl2 Plasma.,レーザー研究,03870200,一般社団法人 レーザー学会,1998,26,6,453-457,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204647008128,https://doi.org/10.2184/lsj.26.453