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片岡 是和 and 遠藤 健次 and 小林 正嘉 and 〓松 淳 and 下村 一郎,ＴＡＢ露光装置の光学系の開発,サーキットテクノロジ,0914-8299,一般社団法人 エレクトロニクス実装学会,1990,5,5,275-280,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204657932800,https://doi.org/10.5104/jiep1986.5.275