著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
谷村 吉久 and 豊田 幸司,レーザ干渉計を応用した非接触微細形状測定装置,精密機械,03743543,公益社団法人 精密工学会,1984,50,10,1617-1621,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204731187072,https://doi.org/10.2493/jjspe1933.50.1617