著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
涌井 伸二,ステージ位置制御系における定盤加速度フィードバックの再解釈,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1998,64,7,1017-1021,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204763901952,https://doi.org/10.2493/jjspe.64.1017