著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 神谷 和秀 and 野村 俊 and 宮代 裕 and 吉川 和男 and 田代 発造 and 大園 成夫 and 小林 富美男,既製のフィゾー干渉計を基礎としたゾーンプレート干渉計,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1995,61,4,516-520,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204763911680,https://doi.org/10.2493/jjspe.61.516