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三宅 正二郎 and 石井 正紀 and 大竹 利明 and 津嶋 尚武,原子間力顕微鏡によるマイカのナノメータスケールの機械加工,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1997,63,3,426-430,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204764573696,https://doi.org/10.2493/jjspe.63.426