著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
持田 洋一 and 森屋 和文 and 大和田 邦樹,マイクロ機構の測定・評価技術 マイクロジャイロの振動特性評価,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1997,63,3,345-348,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204764830720,https://doi.org/10.2493/jjspe.63.345