著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 須崎 嘉文 and 鹿間 共一 and 垣内 弘章 and 芳井 熊安 and 川辺 秀昭,スパッタ法により作製したa‐Si(:H)/a‐SiC(:H)超格子薄膜の量子井戸効果,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1994,60,3,393-396,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204764838784,https://doi.org/10.2493/jjspe.60.393