著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 下河辺 明,特集 「超」を実現するテクノロジー 「超」技術の展望,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1993,59,1,14-18,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204765047424,https://doi.org/10.2493/jjspe.59.14