著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
三井 公之,マイクロ機構の測定・評価技術 マイクロ部品の形状・寸法測定,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1997,63,3,327-331,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204765097728,https://doi.org/10.2493/jjspe.63.327