著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 増田 修一 and 明 愛国 and オマーリ アブデルハフィド and 梶谷 誠 and 金森 哉吏,粗微動高精度実装ロボットの開発 1 2軸微動機構の開発,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2000,66,1,117-121,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204765128832,https://doi.org/10.2493/jjspe.66.117