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河井 元良 and 林 巌 and 岩附 信行,超音波リニアアクチュエータを用いた三自由度球面モータの研究,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1993,59,3,405-410,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204765560704,https://doi.org/10.2493/jjspe.59.405