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高谷 裕浩 and 三好 隆志 and 荒井 正敏 and 林 和志 and 瀬高 雅文,Ｆｒａｕｎｈｏｆｅｒ回析による超精密加工表面粗さ測定装置の開発研究 光学系誤差の補正法,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1995,61,3,377-381,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204765634688,https://doi.org/10.2493/jjspe.61.377