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森 勇藏 and 芳井 熊安 and 安武 潔 and 垣内 弘章 and 木山 精一 and 樽井 久樹 and 堂本 洋一,大気圧プラズマＣＶＤ法によるアモルファスＳｉの高速成膜に関する研究 （第１報） 回転電極型大気圧プラズマＣＶＤ装置の設計・試作,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1999,65,11,1600-1604,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204765917056,https://doi.org/10.2493/jjspe.65.1600