著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 和井田 徹 and 岡野 啓作,3次元微細形状創成技術 研削によるマイクロ形状創成,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1995,61,10,1365-1368,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204766043264,https://doi.org/10.2493/jjspe.61.1365