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長友 渉 and 宮本 敦 and 宍戸 千絵 and 高木 裕治 and 中垣 亮 and 諸熊 秀俊,トップダウンSEM像を用いたレジストパタン膜厚管理,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2007,73,7,808-812,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204795914496,https://doi.org/10.2493/jjspe.73.808