著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
土肥 俊郎 and 森田 剛,躍動感あふれる超精密プラナリゼーションCMP技術の広い応用分野とその発展に向けて,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2012,78,10,825-828,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204796294656,https://doi.org/10.2493/jjspe.78.825