著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 直井 一也,触針式表面性状校正装置にみる最新技術と不確かさ解析,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2010,76,9,991-994,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204796602240,https://doi.org/10.2493/jjspe.76.991