著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 森 勇藏 and 山村 和也 and 佐野 泰久,数値制御プラズマCVMによるX線ミラーの加工に関する研究 (第1報) X線ミラー加工用装置の開発,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2001,67,1,131-136,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204797218560,https://doi.org/10.2493/jjspe.67.131