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谷口 素也 and 稲垣 晃 and 見坊 行雄 and 岡本 啓一 and 船津 隆一,斜方結像光学系を用いたＸ線露光装置用アラインメントパターン検出法,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1989,55,9,1687-1693,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204797314816,https://doi.org/10.2493/jjspe.55.1687