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岡山 重夫 and 梶村 皓二 and 渡辺 眞二 and 本間 昭彦,高分解能微動アクチュエータと制御 ＳＴＭにおけるピエゾアクチュエータ,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,1988,54,5,817-821,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204797341440,https://doi.org/10.2493/jjspe.54.817