著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 田中 健一郎 and 山江 和幸 and 太田 智浩 and 久保 雅男 and KLEIN-WIELE Jan-Hendrik and SIMON Peter,LEDチップInGaN薄膜表面へのエキシマフェムト秒レーザ加工による微細凹凸構造の形成と光取出しの高効率化,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2011,77,4,400-404,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204797591552,https://doi.org/10.2493/jjspe.77.400