著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 坂井 高雅 and 川上 嘉輝 and 出村 和哉 and 井原 透,ナノシートのAFMプローブによる機械的微細除去加工(第2報),精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2008,74,6,611-615,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204797630208,https://doi.org/10.2493/jjspe.74.611