著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 堀江 三喜男,【マイクロ/ナノシステム研究専門委員会】マイクロ/ナノシステム,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2005,71,10,1201-1204,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204797836288,https://doi.org/10.2493/jjspe.71.1201