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畝田 道雄 and 岡部 憲嗣 and 守屋 紀彦 and 澁谷 和孝 and 石川 憲一,ダブプリズムを用いた接触画像解析に基づくポリシングパッド表面性状の定量評価手法の開発に関する研究,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2010,76,11,1276-1282,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204797967872,https://doi.org/10.2493/jjspe.76.1276