著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
佐竹 うらら and 榎本 俊之,シリコンウェーハ研磨加工におけるウェーハエッジ部の表面形状創成過程,精密工学会誌,0912-0289,公益社団法人 精密工学会,2014,80,8,777-782,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204829215488,https://doi.org/10.2493/jjspe.80.777