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福井 克成 and 廣瀬 研二 and 佐竹 うらら and 榎本 俊之 and 杉原 達哉,両面研磨加工におけるウェーハ厚さむら抑制のための加工条件最適化,精密工学会誌,0912-0289,公益社団法人 精密工学会,2018,84,3,277-283,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204830280832,https://doi.org/10.2493/jjspe.84.277