著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
市村 正也 and 加藤 正史 and 小野田 皓司 and 秋田 貢一,最新鋭の半導体工場,電気学会誌,13405551,一般社団法人 電気学会,2008,128,5,278-281,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204996321408,https://doi.org/10.1541/ieejjournal.128.278