著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
鎌田 喜一郎 and 八井 浄 and 菅野 昌義 and 相沢 尚良 and 森山 実,プラズマCVD法によるSi<sub>3</sub>N<sub>4</sub>-SiC系非晶質膜の軽イオンビーム照射損傷,窯業協會誌,00090255,公益社団法人 日本セラミックス協会,1987,95,1102,616-622,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205248635008,https://doi.org/10.2109/jcersj1950.95.1102_616