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藤森 宏高 and 田村 洋二 and 針田 彬 and 井奥 洪二 and 垣花 眞人 and 吉村 昌弘 and 後藤 誠史,顕微ラマン散乱による窒化アルミニウム半導体製造装置用部品の耐食性に関する研究,Journal of the Ceramic Society of Japan (日本セラミックス協会学術論文誌),0914-5400,公益社団法人 日本セラミックス協会,2003,111,1300,935-938,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205249139584,https://doi.org/10.2109/jcersj.111.935