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土屋 智由 and 伊藤 寿浩 and 佐々木 元 and 須賀 唯知,"ゾル-ゲル法によるマイクロセンサー, マイクロアクチュエーター用圧電体チタン酸ジルコン酸鉛セラミックス薄膜の作製とその特性",Journal of the Ceramic Society of Japan (日本セラミックス協会学術論文誌),09145400,公益社団法人 日本セラミックス協会,1996,104,1207,159-163,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205278855040,https://doi.org/10.2109/jcersj.104.159