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近藤 好正 and 斉藤 雅典 and 齊藤 隆雄 and 大竹 尚登,ナノパルスプラズマCVD法による準大気圧下でのダイヤモンド状炭素膜の合成,精密工学会誌論文集,13488724,公益社団法人 精密工学会,2005,71,12,1548-1552,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205279603328,https://doi.org/10.2493/jspe.71.1548