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山下 典理男 and 山本 晃生 and 樋口 俊郎 and 保井 秀彦,400mmシリコンウェハの非接触静電浮上,精密工学会誌論文集,13488724,公益社団法人 精密工学会,2005,71,3,342-346,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205279938304,https://doi.org/10.2493/jspe.71.342