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森勇 藏 and 芳井 熊安 and 安武 潔 and 垣内 弘章 and 大参 宏昌 and 中濱 康治 and 江畑 裕介,回転電極型大気圧プラズマCVD法による多結晶Siの成膜特性,精密工学会誌論文集,13488724,公益社団法人 精密工学会,2004,70,1,144-148,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205280966528,https://doi.org/10.2493/jspe.70.144