著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
永森 彰 and 鈴木 融 and 山藤 泉 and 菅野 明郎 and 伊藤 稔,LSI微細配線パターンの高精度なエッジラフネス検出手法,精密工学会誌論文集,13488724,公益社団法人 精密工学会,2006,72,5,612-618,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205281673088,https://doi.org/10.2493/jspe.72.612