著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 高 偉 and 齋藤 悠佑 and 佐藤 隼人 and 清野 慧 and 清水 浩貴 and 広瀬 純,高感度2軸マイクロ角度センサの開発,精密工学会誌論文集,13488724,公益社団法人 精密工学会,2006,72,9,1174-1178,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205282050304,https://doi.org/10.2493/jspe.72.1174