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渋谷 和信 and 小林 芳彦 and 渡邊 信昭,パーフルオロ化合物（ＰＦＣｓ）対応燃焼分解技術,Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ ｔｈｅ Ｖａｃｕｕｍ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｊａｐａｎ,18822398,一般社団法人 日本真空学会,2009,52,7,388-392,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205293836160,https://doi.org/10.3131/jvsj2.52.388