著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 豊田 紀章,ガスクラスターイオンビーム研究開発の最近の動向,Journal of the Vacuum Society of Japan,18822398,一般社団法人 日本真空学会,2016,59,5,121-127,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205294055424,https://doi.org/10.3131/jvsj2.59.121