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縄稚 典生 and 伊藤 幸一 and 井鷺 洋介 and 吉田 善明 and 岡本 圭司 and 中谷 達行,大電力パルスマグネトロンスパッタを用いた炭素系薄膜の特性,Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ ｔｈｅ Ｖａｃｕｕｍ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｊａｐａｎ,18822398,一般社団法人 日本真空学会,2017,60,9,341-345,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205296059264,https://doi.org/10.3131/jvsj2.60.341