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田中 克彦 and 久保田 哲平 and 山田 和弘 and 坂部 行雄,Ｓｉ基板上ＰＺＴ－ＰＺＮ圧電体厚膜の低温形成,材料,05145163,公益社団法人 日本材料学会,2003,52,12,1420-1424,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205418409344,https://doi.org/10.2472/jsms.52.1420